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激光清洗阈值和损伤阈值的研究

来源 :激光与光电子学进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wxcheng823

【摘 要】

：

讨论了采用波长为308nm，脉冲宽度为28ns的准分子激光清洗基片的实验研究，分析了激光清洗过程中清洗阈值和损伤阈值存在的原因，并对它们进行了定量性推导。

【作 者】

：

谭东晖 陆冬生 

【机 构】

：

华中理工大学激光技术国家重点实验室

【出 处】

：

激光与光电子学进展

【发表日期】

：

1997年07期

【关键词】

：

激光清洗 清洗阈值 损伤阈值 

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讨论了采用波长为308nm，脉冲宽度为28ns的准分子激光清洗基片的实验研究，分析了激光清洗过程中清洗阈值和损伤阈值存在的原因，并对它们进行了定量性推导。

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