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在显微图像的尺寸测量中,由于各种因素的影响,测量结果不可避免地存在着误差.为了充分认识并进而减小这些误差,提高测量精度,文章对标准件标定、显微光学系统的景深、对焦、光照亮度以及温度等影响测量结果的误差源作了细致的研究,给出了半导体芯片电路线宽显微测量结果及精度分析.
半导体芯片电路线宽显微测量精度分析
【摘 要】
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在显微图像的尺寸测量中,由于各种因素的影响,测量结果不可避免地存在着误差.为了充分认识并进而减小这些误差,提高测量精度,文章对标准件标定、显微光学系统的景深、对焦、
【机 构】
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南京航空航天大学
【出 处】
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微计算机信息
【发表日期】
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2004年9期
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