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利用压电薄膜的低温沉积工艺与微机械加工技术结合可以制作出压电微电机。这种压电微电机在医用微型器械，自聚焦系统，精密微定位、微型机器人等领域有着重要应用。本文介绍了几种压电微电机的制作过程、结构、工作原理及有关结果，并指出了目前存在的问题和下一步研究发展的方向。
压电微电机之综述
【摘 要】
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利用压电薄膜的低温沉积工艺与微机械加工技术结合可以制作出压电微电机。这种压电微电机在医用微型器械，自聚焦系统，精密微定位、微型机器人等领域有着重要应用。本文介绍了几
【机 构】
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湖北大学压电陶瓷技术研究所;
【出 处】
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微特电机
【发表日期】
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2004年期
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