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采用磁控溅射镀膜方法,在锂铁氧体材料表面,制备了Cu-Ti复合金属波导膜系。本文简单介绍了设备的改造特点,对整个工艺过程进行了分析研究,对制备的Cu-Ti复合金属波导膜系进行了性能测试,结果表明,用该工艺所制备的波导膜系性能指标达到微波器件的要求。
锂铁氧体表面沉积Cu-Ti复合金属波导膜系的工艺分析研究
【摘 要】
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采用磁控溅射镀膜方法,在锂铁氧体材料表面,制备了Cu-Ti复合金属波导膜系。本文简单介绍了设备的改造特点,对整个工艺过程进行了分析研究,对制备的Cu-Ti复合金属波导膜系进行
【机 构】
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扬州大学
【出 处】
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实验室研究与探索
【发表日期】
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2004年04期
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