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介绍了石英摆片磨料喷射加工，超声波加工等成形工艺，并在此基础上，提出了用ＣＷ ＣＯ２激光器切割石英摆片的新方法，给出了石英摆片激光切割的主要切割参数，并对使用不同成形切割方法切割石英摆片的切割质量，进行了比较和分析。
石英摆片成形工艺研究
【摘 要】
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介绍了石英摆片磨料喷射加工，超声波加工等成形工艺，并在此基础上，提出了用ＣＷ ＣＯ２激光器切割石英摆片的新方法，给出了石英摆片激光切割的主要切割参数，并对使用不同成形切割方法切割石
【机 构】
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哈尔滨工业大学机电学院
【出 处】
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航天工艺
【发表日期】
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1999年5期
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