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以甲基三乙氧基硅炕、金属Na、邻氯甲苯、间氯甲苯或对氯甲苯为原料，通过伍尔兹反应合成邻、间和对位苯甲基官能化的甲基二乙氧基硅烷，利用傅里叶红外光谱（FT—IR）、核磁共振仪（NMR）、气相色谱-质谱联用仪（Gc—MS）等手段对产物结构进行表征。通过正交试验方法考察反应温度、原料滴加时间、原料物质的量之比等因素对目标产物产率的影响，利用方差分析确定各个反应的最佳反应条件。结果表明：温度对3种产物的产率影响都是显著的，而原料滴加时间和物质的量之比对3种产物产率影响均不显著，利用密度一折射率联用仪测定得到25℃