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将工业过程控制方法用于微位移压电陶瓷驱动器控制，提出了一种自整定内模PID控制方法．该方法结合内模控制、PID控制和前馈控制，针对非圆销孔加工的特点，采用双环的控制结构，内环主要对控制对象进行等效，提高其动态性能；外环通过时间乘绝对误差的积分（ITAE）优化内模PID的整定参数．鲁棒性分析、仿真及实验表明，系统具有很强鲁棒性，能快速响应，在工作频率低于20Hz时具有较好跟踪性能，达到了快速跟踪和减少滞环的目的．