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通过对液相外延生长的外延片不同处理处理的研究，摸索出一条利用扫描电子显微镜来观测有源区厚度的有效方法－蒸金法，最优可观察到有源区厚度２０ｎｍ，对设计厚度为１８ｎｍ结构来说，这是一种便利有效的观察手段。
LPE生长外延片超薄有源层结构的SEM研究
【摘 要】
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通过对液相外延生长的外延片不同处理处理的研究，摸索出一条利用扫描电子显微镜来观测有源区厚度的有效方法－蒸金法，最优可观察到有源区厚度２０ｎｍ，对设计厚度为１８ｎｍ结构来说，这是一种便利有
【机 构】
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长春光学精密机械学院高功率半导体激光国家重点实验室
【出 处】
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长春光学精密机械学院学报
【发表日期】
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1997年4期
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