【摘 要】
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逆导型IGBT（RC-IGBT）是一种新型功率半导体器件，实现了IGBT和续流二极管的片内集成，具有体积小、成本低、功率密度高、正温度系数、良好的功率循环能力和关断特性等诸多优势。RC-IGBT正向导通时存在电压回跳现象，建立物理模型详细分析其产生机理及影响因素，得出了缓冲层掺杂浓度是决定回跳电压大小的重要因素。进一步通过控制变量法，利用TCAD仿真软件从导通特性、并联均流特性和开关特性三个方面详
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逆导型IGBT（RC-IGBT）是一种新型功率半导体器件，实现了IGBT和续流二极管的片内集成，具有体积小、成本低、功率密度高、正温度系数、良好的功率循环能力和关断特性等诸多优势。RC-IGBT正向导通时存在电压回跳现象，建立物理模型详细分析其产生机理及影响因素，得出了缓冲层掺杂浓度是决定回跳电压大小的重要因素。进一步通过控制变量法，利用TCAD仿真软件从导通特性、并联均流特性和开关特性三个方面详细测试分析了具有不同程度回跳现象的RC-IGBT在实际电路应用中的影响。通过合理的参数选择，可将回跳电压控制在可接受的范围里，并提高了器件的综合性能，为RC-IGBT未来的设计优化和实际应用提供了有价值的参考和理论指导。
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