【摘 要】
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利用低压等离子体增强化学气相沉积技术制备碳氢辉光放电聚合物（GDP）和全氘代辉光放电聚合物（D-GDP）薄膜。利用表面轮廓仪、傅里叶红外光谱仪和纳米压痕技术对制备的样品进行表征
【机 构】
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中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川大学原子与分子物理研究所,东方电气集团东方电机有限公司工艺部
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利用低压等离子体增强化学气相沉积技术制备碳氢辉光放电聚合物（GDP）和全氘代辉光放电聚合物（D-GDP）薄膜。利用表面轮廓仪、傅里叶红外光谱仪和纳米压痕技术对制备的样品进行表征,讨论了GDP/D-GDP薄膜的沉积速率、化学结构和力学性能在ICF物理实验用靶应用中的优缺点。结果表明：GDP/D-GDP薄膜的沉积速率都随反应气体流量比例近线性增加,GDP的沉积速率达到2.6μm,D-GDP的沉积速率达到1μm,GDP的沉积速率远大于D-GDP的沉积速率;D-GDP薄膜内部的交联化程度较弱,D-GDP更有利于靶
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