【摘 要】
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论述了一种新型单频激光干涉技术的原理和测量系统。该测量系统在迈克逊单频激光干涉仪的基础上采用自扫描光电二极管列阵（ＳＳＰＤＡ）接收器件，将直流信号转换成交流信号、微处理机处理，具
【机 构】
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精密仪器与机械学系,精密仪器与机械学系,精密仪器与机械学系,精密仪器与机械学系,精密仪器与机械学系
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论述了一种新型单频激光干涉技术的原理和测量系统。该测量系统在迈克逊单频激光干涉仪的基础上采用自扫描光电二极管列阵（ＳＳＰＤＡ）接收器件，将直流信号转换成交流信号、微处理机处理，具有波长自动补偿功能。实验证明它比一般单频激光干涉仪具有较高的抗干扰性及测量精度，其分辨率为 ０．０２μｍ。
The principle and measurement system of a new type of single-frequency laser interferometry are discussed. The measurement system uses self-scanning photodiode array (SSPDA) receiving device on the basis of the single-frequency laser interferometer of Michelson to convert the direct current signal into the alternating current signal and the microprocessor, and has the function of automatic wavelength compensation. Experiments show that it has higher anti-interference and measurement accuracy than the single-frequency laser interferometer with a resolution of 0.02μm.
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