聚脂膜衬底上的类金刚石薄膜

来源 :北京师范大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：blueskyjandy

【摘要】

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X光电子能谱和硬度分析测试表明:利用MEVVA离子注入机在聚脂膜(PET)表面注入或沉积C,可形成类金刚石(DLC)薄膜.根据C1s XPS谱可直接计算出DLC中sp3键所占比例.沉积法生长的DL

【作者】

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吴正龙覃礼钊王平张通和吴瑜光

【机构】

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北京师范大学分析测试中心,北京师范大学低能核物理研究所:100875

【出处】

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北京师范大学学报(自然科学版)

【发表日期】

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2005年1期

【关键词】

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类金刚石薄膜聚脂膜 XPS 硬度 diamond-like carbon (DLC) polymer PET XPS hardness

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X光电子能谱和硬度分析测试表明:利用MEVVA离子注入机在聚脂膜(PET)表面注入或沉积C,可形成类金刚石(DLC)薄膜.根据C1s XPS谱可直接计算出DLC中sp3键所占比例.沉积法生长的DLC中sp3键所占比例明显高于注入法.与衬底PET相比,表面薄膜硬度提高了1个量级,大大改善了PET的性质.对DLC膜中的碳氧化合物污染进行了讨论.

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