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采用厚膜技术研制新型电容式集成压力传感器用感压元件。具有抗干扰能力，灵敏度高，受分布电容、寄生电容影响小、耐腐蚀，耐高温的特点。文中主要介绍其电容式感压元件的原理、设计，并对非线性等相关技术及工艺问题进行了探讨。
厚膜电容式集成压力传感器感压元件研究
【摘 要】
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采用厚膜技术研制新型电容式集成压力传感器用感压元件。具有抗干扰能力，灵敏度高，受分布电容、寄生电容影响小、耐腐蚀，耐高温的特点。文中主要介绍其电容式感压元件的原理、设
【机 构】
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中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室,中国科学院合肥智能机械研究所
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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2001年3期
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