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宽带隙薄膜材料核化与生长机制及其性质的研究
宽带隙薄膜材料核化与生长机制及其性质的研究
来源 :工业金刚石 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shazishidaoo
【摘 要】
:
宽带隙金刚石膜及立方氮化硼薄膜由于其优异的物理性质和低成本,在机械、电子、光学及军事工业等部门有广阔的应用前景。
【出 处】
:
工业金刚石
【发表日期】
:
2004年4期
【关键词】
:
宽带隙薄膜材料
金刚石膜
立方氮化硼薄膜
核化
生长机制
物理性质
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宽带隙金刚石膜及立方氮化硼薄膜由于其优异的物理性质和低成本,在机械、电子、光学及军事工业等部门有广阔的应用前景。
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