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Effects of HF frequency on plasma characteristics in dual-frequency helium discharge at atmospheric
Effects of HF frequency on plasma characteristics in dual-frequency helium discharge at atmospheric
来源 :黑龙江科技信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liwl11
【摘 要】
:
本文通过对荣华二采区10
【作 者】
:
Yinan WANG
Shuaixing LI
Li WANG
Ying JIN
Yanhua ZHANG
Yue LIU
【机 构】
:
College of Science, Liaoning Shihua University, Fushun 113001, People’s Republic of China“,”Key Labo
【出 处】
:
黑龙江科技信息
【发表日期】
:
2018年11期
【关键词】
:
dual-frequency
numerical study
electron energy mechanisms
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本文通过对荣华二采区10<
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