【摘 要】
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为保证太赫兹辐射强度测量量值的准确可靠，论文开展热电型太赫兹探测器响应度参数的校准研究。首先基于替代法研建了太赫兹探测器响应度校准装置，经评定，装置的合成标准不确定度为2.4%。基于校准装置在1.63THz频率点对一款商用太赫兹探测器进行了校准，得到的响应度校准结果为197.6mV/W，与厂家标称值一致。然后对自主研制的太赫兹热电探测器进行了标定，得到的响应度和合成标准测量不确定度分别为362.2
【基金项目】
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电子测试技术重点实验室基金（6142001190308）；
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为保证太赫兹辐射强度测量量值的准确可靠，论文开展热电型太赫兹探测器响应度参数的校准研究。首先基于替代法研建了太赫兹探测器响应度校准装置，经评定，装置的合成标准不确定度为2.4%。基于校准装置在1.63THz频率点对一款商用太赫兹探测器进行了校准，得到的响应度校准结果为197.6mV/W，与厂家标称值一致。然后对自主研制的太赫兹热电探测器进行了标定，得到的响应度和合成标准测量不确定度分别为362.2mV/W和2.7%。最后将校准结果的标准偏差值同合成标准不确定度进行了比较，发现标准偏差值在合理范围内，进一步证明了论文的校准方法、结果以及不确定度分析的合理性。论文对保障探测器件的研制应用以及实现太赫兹辐射量值的准确可靠具有参考价值。
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