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本文讨论了硅化铱肖特基势垒红外探测器(IrSi-SBIRD)的典型结构和其制作技术;评述了硅化铱肖特基势垒红外焦平面阵列(IrSi-SBIRFPA)的现状。
硅化铱肖特基势垒红外焦平面阵列技术
【摘 要】
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本文讨论了硅化铱肖特基势垒红外探测器(IrSi-SBIRD)的典型结构和其制作技术;评述了硅化铱肖特基势垒红外焦平面阵列(IrSi-SBIRFPA)的现状。
【机 构】
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重庆光电技术研究所重庆市永川632163
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1990年3期
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