【摘 要】
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本文在分析cusp磁场抑制对流原理的基础上,采用有限元法对大尺寸单晶炉cusp磁场进行了建模。利用模型分析了磁场结构尺寸对磁场强度的影响,优化了磁场结构;分析了线圈规格对
【机 构】
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西安理工大学晶体生长设备与系统集成国家地方联合工程研究中心
【基金项目】
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国家科技重大专项（No.2009X02011001）
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本文在分析cusp磁场抑制对流原理的基础上,采用有限元法对大尺寸单晶炉cusp磁场进行了建模。利用模型分析了磁场结构尺寸对磁场强度的影响,优化了磁场结构;分析了线圈规格对磁场功率的影响,优化了磁场功率;并通过实验验证了建模方法的有效性。实验结果表明：该模拟方法可用于大尺寸单晶炉cusp磁场的实际设计。
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