【摘 要】
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基于扫描探针显微镜(SPM)微机械性能测试的需求,设计了一种可用电容力驱动微桥面振动的新型微桥。通过实验选材和单晶Si的刻蚀研究,提出了一种新的正面刻蚀成桥方法,获得了一种基于湿法刻蚀的低成本、易加工的实用微桥加工技术。利用SEM和AFM观察了微桥,证实微桥已制备成功且微桥桥面形貌比较平整。最后用改进的扫描隧道显微镜(STM)测量了微桥振动的频率响应,测得的共振频率与理论估算值基本一致。
【机 构】
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中山大学物理科学与工程技术学院,光电材料与技术国家重点实验室,广州大学固体物理与材料研究实验室,
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基于扫描探针显微镜(SPM)微机械性能测试的需求,设计了一种可用电容力驱动微桥面振动的新型微桥。通过实验选材和单晶Si的刻蚀研究,提出了一种新的正面刻蚀成桥方法,获得了一种基于湿法刻蚀的低成本、易加工的实用微桥加工技术。利用SEM和AFM观察了微桥,证实微桥已制备成功且微桥桥面形貌比较平整。最后用改进的扫描隧道显微镜(STM)测量了微桥振动的频率响应,测得的共振频率与理论估算值基本一致。
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