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用GS400高真空外延设备制备了空穴型双势垒单势阱共振隧道二极管,常温(293K)直流测试数据为PVCR(峰谷电流比)=1.13,Jp(峰值电流)=1.589kA/cm^2,对应的低温(77K)脉冲测试数据为PVCR=1.24,Jp=1.086kA/cm^2,两种情况下,较低的PVCR可归结为Ge2Si1-x/Si异质结构本身的能级特性和热效应。