【摘 要】
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磁控溅射可以实现在多种基片上几乎任何材料的沉积,有附着能力强,溅射速率快,低温高速等优点,在新材料领域有着十分重要的应用.由于化石燃料的消耗不断加剧,造成了一系列环境
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磁控溅射可以实现在多种基片上几乎任何材料的沉积,有附着能力强,溅射速率快,低温高速等优点,在新材料领域有着十分重要的应用.由于化石燃料的消耗不断加剧,造成了一系列环境的污染问题,也不利于可持续发展,薄膜太阳能电池因清洁干净且可大中小并举的优点受到人们重视.而薄膜的制备技术已成为了太阳能电池技术中不可或缺的部分,有非常重要的意义.本文简要介绍了磁控溅射制备薄膜技术以及太阳能电池的原理,并讨论了磁控溅射在薄膜太阳能电池中广泛的应用.
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