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研究了射频磁控溅射制备ITO薄膜，利用四探针方法、分光光度计测试薄膜面电阻及红外-可见光光谱，利用光谱特征研究了不同工艺对薄膜面电阻、载流子浓度、折射率等光电性能的影响.研究表明，随温度的升高ITO薄膜面电阻减小，载流子浓度增加，折射率减小，透过率增加；随氧分压的增加面电阻增大，载流子浓度减小。