【摘 要】
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进入21世纪以来，以智能卡和电子标签为代表的便携式及微型化电子产品逐渐步入普通家庭生活。在军事科技领域，微型飞行器、航天器和机器人等微型系统也从早期的概念研究逐渐过渡
【机 构】
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电子科技大学微电子与固体电子学院,电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
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进入21世纪以来，以智能卡和电子标签为代表的便携式及微型化电子产品逐渐步入普通家庭生活。在军事科技领域，微型飞行器、航天器和机器人等微型系统也从早期的概念研究逐渐过渡到应用研究阶段。开发与这些微型器件和系统相匹配的特种供电单元迫在眉睫，预计具有较高的科学研究价值和诱人的市场前景。显然，鉴于微型器件的工作特点，选用可以独立供能的化学电源是一个必然选择。常规电池由于尺寸和质量较大，明显不适合充当这些微型装置的内置电源。一种可行的解决途径就是利用薄膜制备技术，将常规电池体积微型化、轻量化，形成特种电池，
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