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为了实现椭偏参量 ψ和Δ 的高速、高灵敏测量，建立了一种测量成本低、重复性好和便于工业化集成的椭偏测量方案。本文对弹光调制型椭偏参量测量系统进行了原理分析，针对弹光调制器的工作模式及调制光信号特点，设计了基于现场可编程门阵列的数字锁相数据处理方案。现场可编程门阵列提供弹光调制器工作的信号源，并控制AD采样；同时产生正弦和余弦参考序列，并完成直流项、一倍频项和二倍频项的同相分量和正交分量的提取，进而求解出椭偏参量。利用搭建的试验系统对SiO 2薄膜厚度为3.753 nm的硅片样品进行了实验分析。实验结果表明