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<正> 薄膜技术除应用在微电子器件、传感器和显示器件外,还能制做耐磨损膜或彩色膜。近年来,薄膜制造设备的增长率每年提高26％,薄膜应用情况按产值计算年增长率为15％,因此,研制薄膜传感器将
薄膜传感器的发展和展望
【摘 要】
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<正> 薄膜技术除应用在微电子器件、传感器和显示器件外,还能制做耐磨损膜或彩色膜。近年来,薄膜制造设备的增长率每年提高26％,薄膜应用情况按产值计算年增长率为15％,因此,研制
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1990年2期
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