低能电子束光刻的Monte Carlo模拟

来源 :佳木斯大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：atishi123

【摘要】

：

利用Mott截面和介电函数模型,借助Monte Carlo方法模拟了电子在光刻胶PMMA和衬底中的弹性散射和非弹性散射.通过统计电子的能量沉积分布,发现低能电子的大部分能量沉积在光刻

【作者】

：

肖沛林季资

【机构】

：

江苏科技大学张家港校区基础部

【出处】

：

佳木斯大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2008年4期

【关键词】

：

电子束光刻能量沉积 MONTE CARLO模拟 electron beam hthography deposited energy Monte Carlo

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

利用Mott截面和介电函数模型,借助Monte Carlo方法模拟了电子在光刻胶PMMA和衬底中的弹性散射和非弹性散射.通过统计电子的能量沉积分布,发现低能电子的大部分能量沉积在光刻胶中而非衬底,所以在电子束光刻中有着更高的效率.并且还得到了在不同的入射电子能量下,光刻胶完全曝光所对应的的最佳厚度.

其他文献

“500”水库土建工程的主要变更及影响

“500”水库土建工程的主要变更对工程安全、质量、环保起到了良好作用。“500”水库工程一步、二步合并一次建成，既节省了投资，又因其扩大的库容可多屯蓄丰水期1.11亿m^3来水，

期刊

“500”水库土建工程变更影响

UWB系统中MMSE迭代多用户检测技术的研究

DS—UWB是脉冲无线电和扩频技术的结合，在高速数据通信和低速传感器网络中都有广阔的前景和应用空间．迭代多用户检测（MUD）接收机，是Turbo迭代译码思想的推广．本文将迭代MUD接收机用

期刊

TURBOMMSESOVADS—UWBTurbo MMSE SOVA MAP DS-UWB

浅析我国汽车金融服务模式

入世后政府首先承诺向外资开放汽车金融服务业,国内的银行、汽车制造商和经销商将不得不和实力强大的外资金融机构进行竞争,我国现有的汽车金融服务模式必须做出相应的调整。

期刊

汽车金融服务汽车贷款模式

矫勇副部长一行到我会视察指导工作

<正>~~

期刊

芜湖市城市堤防管理体制改革实践

本文对芜湖市城市堤防管理体制改革的实践作了介绍。

期刊

芜湖市城市堤防管理体制改革

怎样培养学生的自主学习精神

当今的时代,是个机遇和挑战并存的时代,教育同样面临机遇与挑战.要赢得现代教育的成功,就必须进行教育观念的及时更新.要用正确的、先进的教育观念取代片面、保守的教育观念,

期刊

学生自主学习教会学生学习培养学生现代教育观教育观念教师实践活动思考学习精神创造能力

总结推广“隆化模式” 积极深化林场改革——对隆化县国有林场改革成功之路的有益探索

隆化县自2011年被河北省列为全国国有林场第一批改革试点县以来,紧紧围绕＂保生态、保民生、保稳定＂目标,理顺了管理体制,明确了组织架构,提升了管理机构和林场规格,化解了部分

期刊

创新管理深化改革促进发展

雨养旱作区全膜覆盖双垄沟播玉米品种鉴选试验研究

在宁南山区全膜覆盖双垄沟播栽培条件下,进行玉米品种优化鉴选,对生物学性状、抗逆性以及适应性分析,鉴定筛选出陇单9、榆单88、晋单73等高产优质抗旱普通玉米新品种,在今年

期刊

宁南山区全膜覆盖玉米品种鉴选

水利工程施工技术进展

本文介绍土石坝、混凝土坝、碾压混凝土坝施工技术进展情况,并阐述土石方明挖、高边坡开挖、大型地下工程及长隧洞开挖以及堤防、地基防渗处理等.

期刊

水利工程土石坝混凝土坝碾压混凝土坝地基防渗工程施工

探索物理教学感悟德育光芒——关于物理教学中德育渗透的体会

高中阶段的物理学习,对于大多数同学来说,都是略显乏味且难度较大.作为一名热爱物理教学的年轻教师,我一直在苦苦思索物理教学怎样才能充满智慧的光芒,怎样才能激发出学生的

期刊

物理教学德育渗透德育教育学生感受感悟教师培养学生探索物理学科责任感

低能电子束光刻的Monte Carlo模拟

与本文相关的学术论文