论文部分内容阅读
针对采用Post CMOS工艺设计的MEMS加速度计的结构进行仿真计算,最终得到：MEMS加速度计的质量块质量大小为2.53ug,感应方向的弹簧系统的弹性常数为2.1N/m,敏感方向上的自然谐振频率4600Hz,等效加速速度布朗噪声值58u G/Hz,机械灵敏度3.46f F/G。在200mv交流电压供给下,加速度计的电压输出灵敏度达到1.67m V/G。