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用溶胶-凝胶法在YSZ/Si衬底上制备Bi3．15 Nd0．85 Ti3 O12（BNT）铁电薄膜，研究了退火气氛和退火温度对BNT薄膜的光响应性能的影响。对不同退火气氛和退火温度下的BNT薄膜进行微观结构和光响应性能表征。研究结果表明：随着退火气氛中氧含量的降低，光响应增大，BNT薄膜中氧空位起到了为光生载流子传输提供通道的作用；随着退火温度的降低，光开启电压和饱和光电导增大，BNT薄膜中高密度的晶界虽然阻碍了光生载流子的迁移，却有利于使光生载流子在晶界处及时分开。