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期刊论文
半导体用高纯磷的制造
半导体用高纯磷的制造
来源 :无机盐工业 | 被引量 : 0次 | 上传用户:heshang9994
【摘 要】
:
<正> 将粗磷与含碘物质,合宜为碘、碱金属碘化物、碘化磷、碘化氢、碘化铜、和/或碘化溴,经混合后加热,含碘物质在≤300℃处理,使粗磷中的砷,形成碘化砷,然后真空蒸馏以回
【作 者】
:
徐肇锡
【出 处】
:
无机盐工业
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
高纯磷
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<正> 将粗磷与含碘物质,合宜为碘、碱金属碘化物、碘化磷、碘化氢、碘化铜、和/或碘化溴,经混合后加热,含碘物质在≤300℃处理,使粗磷中的砷,形成碘化砷,然后真空蒸馏以回
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