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分别采用气氛压力烧结(GPS)和热等静压烧结(HIPS)制备氮化硅陶瓷球,研究烧结方式对氮化硅陶瓷球性能、孔隙度和显微结构的影响。结果表明:热等静压烧结与气氛压力烧结相比,密度、硬度、断裂韧性等性能平均数值差别不明显,压碎载荷比明显提高;HIPS陶瓷球性能的离散度和截面孔隙度明显小于GPS陶瓷球,均匀性明显优于GPS陶瓷球。原因为热等静压能够促进烧结致密化,获得更均匀的柱状β-Si 3N 4晶粒,提高组织的均匀性。