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随着汽车传感器的迅速发展和MEMS技术的深入研究，基于MEMS技术的汽车传感器具有广阔的应用前景。本文从传感器原理、MEMS技术理论与制造工艺、智能传感器理论与控制算法、软件与硬件实现、以及集成原理与工艺等几个方面，综合运用MEMS技术、人工智能、信息融合、半导体加工等先进技术，研究基于MEMS技术的智能集成汽车传感器问题。最后对MEMS汽车传感器今后的发展研究进行了探讨。