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纳米器件包括纳米电子器件和纳米光电器件，是未来新型仪器、设备生产与制造的基础。因此，它们的设计、制造方法和技术受到了人们的广泛关注。介绍了用图形化技术实现纳米器件设计与制造的应用研究进展。
图形化技术在纳米器件制造中的应用研究进展
【摘 要】
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纳米器件包括纳米电子器件和纳米光电器件，是未来新型仪器、设备生产与制造的基础。因此，它们的设计、制造方法和技术受到了人们的广泛关注。介绍了用图形化技术实现纳米器件设
【机 构】
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电子科技大学微电子与固体电子学院
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2006年9期
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