论文部分内容阅读
研制了原子力显微镜（AFM）轮廓仪，介绍了AFM轮廓仪的基本原理和系统设计，并展示了多孔Al2O3薄膜、MgAl2O4薄膜和TiN薄膜的表面轮廓图。跟普通光学轮廓仪相比，该系统不需要进行复杂的光路调整，避免了光学元器件带来的误差，且工作行程不受光学孔径的制约，具有操作简单、抗干扰能力强和工作行程大的优点。实验表明，该系统具有良好的重复性、稳定性，横向分辨率为1μm，纵向分辨率为1nm。