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对ps级超短电脉冲测量而言,电光取样是目前最准确、最有效的方法之一。本文介绍了电光取样的基本测量原理及实验途径,对测量的误差因素进行了分析。电光取样对由电光晶体如GaAs、LiNbO3等制成的光电器件的瞬态响应测量具有特殊优点。本文着重对GaAs集成电路的瞬态测量原理和方法及误差因素进行了介绍。电光取样基于谐波混频原理对GaAs高频场分布的测量也十分有效。