【摘 要】
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目前,国际和国内多数多晶硅工厂仍采用西门子法生产工艺,尤其是国内近几年经过不断对现有工艺持续改进,西门子法冷氢化工艺日趋完善和成熟,各规模企业在实际生产中对生产高质
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目前,国际和国内多数多晶硅工厂仍采用西门子法生产工艺,尤其是国内近几年经过不断对现有工艺持续改进,西门子法冷氢化工艺日趋完善和成熟,各规模企业在实际生产中对生产高质量的多晶硅也有了较多的经验和总结,这对我国未来多晶硅行业的发展奠定了坚实基础。但由于西门子法工艺中涉及到的系统很多,包括合成、精馏、分离、气相沉积等等,要真正实现连续、稳定、高质量的生产难度较高,本文主要针对多晶硅生产中的质量控制提出新的思路,通过生产过程的质量控制,实现稳定高质量的多晶硅生产。
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