【摘 要】
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This paper describes and analyses the impact of the Ti layer,which is embedded between the insulator and top electrode,on the programming characteristic of the Al-HfO2-Al antifuse.The programming volt
【机 构】
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Key Laboratory of Microelectronics Devices and Integrated Technology,Institute of Microelectronics o
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This paper describes and analyses the impact of the Ti layer,which is embedded between the insulator and top electrode,on the programming characteristic of the Al-HfO2-Al antifuse.The programming voltage of the antifuse with 120 A HfO2 is properly reduced from 5.5 to 4.6 V with an embedded Ti layer.Low on-state resistance（~19 Ω） and low programming voltage（4.6 V） is demonstrated in the embedded Ti antifuse with 120 A HfO2 while keeping sufficient off-state reliability.The antifuse embedded with a Ti layer between the insulator and top electrode has been developed and has potential in field programmable devices.
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