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硅器件工艺中的铁污染及其对器件特性的影响
硅器件工艺中的铁污染及其对器件特性的影响
来源 :西安交通大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fox_pop
【摘 要】
:
文中研究了硅器件的异常产生电流和异常特性,揭示了它们的产生原因均是硅器件中有铁污染。更多还原
【作 者】
:
张德贤
【机 构】
:
西安交通大学电气工程系
【出 处】
:
西安交通大学学报
【发表日期】
:
1992年3期
【关键词】
:
硅器件
污染
铁
silicon device
iron
contamination
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文中研究了硅器件的异常产生电流和异常特性,揭示了它们的产生原因均是硅器件中有铁污染。更多还原
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