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研究了针对于集成电路的聚合物涂层法电光检测技术,测量了模拟和数字的集成电路,从实验上取得了很高的系统空间分辨率。
聚合物涂层法电光检测技术研究
【摘 要】
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研究了针对于集成电路的聚合物涂层法电光检测技术,测量了模拟和数字的集成电路,从实验上取得了很高的系统空间分辨率。
【机 构】
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闽南理工学院电子与电气工程系
【出 处】
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长春大学学报
【发表日期】
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2011年10期
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