论文部分内容阅读
使用时域有限差分(FDTD)方法研究了基于SOI微环谐振腔结构的条形和脊型波导，探究了微环谐振腔应用于生物传感的理论。分析了结构的几何尺寸对生物传感器灵敏度的影响。通过分析条形和脊型波导的模场分布图，解释了条形波导的灵敏度明显高于脊型波导的原因，且随着波导宽度的增加其灵敏度系数的变化遵循相同的趋势。并且，当条形波导取得最高的灵敏度系数时，其横截面是方形的，然而脊型波导的最大灵敏度值对应的却是不完全对称的几何结构。当条形波导的横截面全对称时，灵敏度达到最大值172.3 nm/RIU。