退火时间对Ni催化非晶碳转变石墨烯的影响

来源 :表面技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dinosonic

【摘要】

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目的研究不同退火时间对Ni催化非晶碳转化生成石墨烯的影响。方法采用磁过滤电弧沉积技术,在SiO2/Si基片上制备非晶碳薄膜,之后利用磁控溅射技术,在非晶碳薄膜上镀上一层金属

【作者】

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李汉超魏菁郭鹏孙丽丽崔平汪爱英

【机构】

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中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室,中国科学院浙江省海洋材料与防护技术重点实验室,中国科学院宁波材料技术与工程研究所,上海科技大学物质科学与技术学院,中国科学院大学材料与光电研究中心

【出处】

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表面技术

【发表日期】

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2019年6期

【关键词】

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非晶碳石墨烯相转变 Ni催化退火时间固体碳源 amorphous carbon (a-C) graphene phase transformation

【基金项目】

：

中国科学院A类战略性先导科技专项(XDA22010303),宁波市科技创新2025重大专项(2018B10014),宁波市自然科学基金(2018A610171),宁波市江北区重大科技专项(201801A03).

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目的研究不同退火时间对Ni催化非晶碳转化生成石墨烯的影响。方法采用磁过滤电弧沉积技术,在SiO2/Si基片上制备非晶碳薄膜,之后利用磁控溅射技术,在非晶碳薄膜上镀上一层金属Ni。再将样品放置在管式炉中进行真空退火热处理。通过X射线光电子能谱(XPS)表征非晶碳的化学价态,利用扫描电子显微镜(SEM)观察退火前后样品的表面形貌变化,利用拉曼光谱(Raman spectra)对生成的石墨烯进行质量表征,采用透射电子显微镜(TEM)对微观石墨烯结构进行表征。结果 700~800℃范围内,合理延长退火时间至60

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