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化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,简称 CVD)技术是表面改性的重要手段之一。本文论述了 CVD 的基本原理及影响其过程的主要因素;同时对化学气相沉积技术在工程材料中的应用,尤其是在最近几年发展起来的梯度功能材料方面的应用进行了阐述,并简要论述了 CVD 技术的发展趋势。