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传统的检测技术和检测仪器不能满足实际检测的需要,而微悬臂梁传感技术用于气体检测是一个新思路.微悬臂梁传感器具有高精度、高灵敏等优点,可使用于真空、液体、气体环境中,广泛应用于生物、化学多领域.本文对微悬臂梁传感器在三类气体检测领域中的研究现状进行梳理,对微悬臂梁检测的工作原理和工作模式进行了叙述,并对该类传感检测技术的前景做了展望,为微机电系统中传感技术的应用研究提供参考.