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标准漏孔及其校准
标准漏孔及其校准
来源 :中国真空学会质谱与检漏专委会第十一届年会.中国计量测试学会真空校准专委会市第六届年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tony_guang
【摘 要】
:
本文通过介绍标准漏孔的工作原理,结构,分类和校准方法的基础上,论述标准漏孔的使用方法和应该注意的问题.
【作 者】
:
刘秀林
【机 构】
:
上海航天局808研究所
【出 处】
:
中国真空学会质谱与检漏专委会第十一届年会.中国计量测试学会真空校准专委会市第六届年会
【发表日期】
:
2002年11期
【关键词】
:
标准漏孔
校准方法
氦质谱检漏仪
密封检漏
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本文通过介绍标准漏孔的工作原理,结构,分类和校准方法的基础上,论述标准漏孔的使用方法和应该注意的问题.
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