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概述了BG-102型分步投影光刻机减振台的空气弹簧和高度阀的结构和工作原理,同时介绍了有关技术参数设计.重点讨论了减振台的结构设计和自动水平校正的机理.
BG-102型分步投影光刻机减振台研制
【摘 要】
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概述了BG-102型分步投影光刻机减振台的空气弹簧和高度阀的结构和工作原理,同时介绍了有关技术参数设计.重点讨论了减振台的结构设计和自动水平校正的机理.
【机 构】
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信息产业部电子第四十五研究所
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
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2001年3期
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