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对脉冲应力作用下金属铝膜的电迁移失效机理进行了研究,研究了纯交流应力对金属铝膜电迁移可靠性的影响,对影响测试结构的相关因素作了详细的描述.借助于脉冲波形的傅里叶级数分解,研究了一般交流应力条件下金属化电迁移的影响因素,建立了一般交流应力条件下金属铝膜电迁移寿命模型.
双向电流应力下的金属膜电迁移机理研究
【摘 要】
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对脉冲应力作用下金属铝膜的电迁移失效机理进行了研究,研究了纯交流应力对金属铝膜电迁移可靠性的影响,对影响测试结构的相关因素作了详细的描述.借助于脉冲波形的傅里叶级
【机 构】
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信息产业部电子第五研究所,电子元器件可靠性物理及其应用技术国家重点实验室
【出 处】
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电子产品可靠性与环境试验
【发表日期】
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2004年2期
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