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介绍了旋转载体用硅微机械陀螺的敏感原理，计算了硅振动单元振动摆角和敏感电容的关系。介绍了旋转载体用硅微机械陀螺敏感元件的结构和利用双面多次光刻、腐蚀等微机械工艺加工得到硅振动单元的工艺过程。对制作的4个敏感元件的电容进行静态测试，得到4个敏感元件各自电容的静态值，它们之间有所偏差。
旋转载体用硅微机械陀螺的敏感元件
【摘 要】
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介绍了旋转载体用硅微机械陀螺的敏感原理，计算了硅振动单元振动摆角和敏感电容的关系。介绍了旋转载体用硅微机械陀螺敏感元件的结构和利用双面多次光刻、腐蚀等微机械工艺加
【机 构】
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北京信息工程学院传感技术研究中心
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2006年2期
其他文献
主要提出了一种用于移动通信中间接的模拟温度补偿晶体振荡器（ATCXO），它的温度补偿性能比国内现有的模拟温度补偿晶体振荡器更精确，且适于集成小型化，克服了普通的温度补偿晶体振