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一种叉指结构电极间分布电阻的计算方法
一种叉指结构电极间分布电阻的计算方法
来源 :江南大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:sunnymurder
【摘 要】
:
叉指电极的应用比较广泛,尤其是用作敏感元件的电极。给出了一种叉指结构电极间分布电阻的计算方法,在理论分析计算的基础上,选取了几种常用尺寸的叉指电极,在中间均匀涂上掺杂的
【作 者】
:
许万里
【机 构】
:
厦门海洋职业技术学院
【出 处】
:
江南大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
2012年3期
【关键词】
:
传感器
敏感元件
叉指电极
分布电阻
计算方法
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叉指电极的应用比较广泛,尤其是用作敏感元件的电极。给出了一种叉指结构电极间分布电阻的计算方法,在理论分析计算的基础上,选取了几种常用尺寸的叉指电极,在中间均匀涂上掺杂的SnO2,通过实验测量其电阻,并与理论计算的结果进行比较,实际测量结果较好地验证了此计算方法的正确性。
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