理想静电传感器的大信号等效电路宏模型

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【摘要】

：

从MEMS器件的机电耦合关系式出发,采用关系式各项与电路相对应的方法,研究了刚性平行极板纵向运动静电换能器的大信号等效电路的宏模型,其中利用了SPICE中的多项式受控源的形

【作者】

：

闻飞纳李伟华戎华

【机构】

：

东南大学微电子中心

【出处】

：

电子器件

【发表日期】

：

2003年3期

【关键词】

：

受控源大信号等效电路宏模型理想静电传感器 large-signal controlled sources equivalent circuit macro

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从MEMS器件的机电耦合关系式出发,采用关系式各项与电路相对应的方法,研究了刚性平行极板纵向运动静电换能器的大信号等效电路的宏模型,其中利用了SPICE中的多项式受控源的形式来简化等效电路结构.对带有此刚性极板结构的集总参数的理想静电传感器进行系统级模拟,并对所建立的传感器大信号等效电路宏模型进行了分析及验证.

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