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对光电发射模块中激光器与光纤的无源耦合作了研究.利用成熟的100mm硅工艺研制成功了无源耦合用硅基平台,并可以批量生产.在此基础上利用倒装工艺实现了激光器与单模光纤的无源耦合,出纤光功率达到了毫瓦级,且经过37次高低温冲击性能不变.
光发射模块中激光器与光纤的无源耦合
【摘 要】
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对光电发射模块中激光器与光纤的无源耦合作了研究.利用成熟的100mm硅工艺研制成功了无源耦合用硅基平台,并可以批量生产.在此基础上利用倒装工艺实现了激光器与单模光纤的无
【机 构】
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中科院微电子研究所
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2005年1期
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