【摘 要】
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We fabricate and measure a multilayer-coated ion-beam-etched laminar grating for the extreme ultraviolet wavelength region. The fabrication process is carefully controlled so that the grating groove and multilayer-coating parameters well meet the design t
【机 构】
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StateKeyLaboratoryofPrecisionMeasurementTechnologyandInstruments,DepartmentofPrecisionInstruments,Ts
【出 处】
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ChineseOpticsLetters
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We fabricate and measure a multilayer-coated ion-beam-etched laminar grating for the extreme ultraviolet wavelength region. The fabrication process is carefully controlled so that the grating groove and multilayer-coating parameters well meet the design targets. At an incident angle of 10\degree, the peak diffraction efficiency of the 1st order is 20.6% at 14.56 nm and that of the -1st order is 22.1% at 14.65 nm, both close to the theoretical limits.
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